Titelaufnahme

Titel
Entwicklung von großflächigen PECVD-Prozessen zur kontrollierten, homogenen Abscheidung dünner Siliziumschichten für die Photovoltaik / Björn Olaf Grootoonk
VerfasserGrootoonk, Björn Olaf
ErschienenJülich : Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibliothek, Verlag, 2019 ; copyright 2019
Ausgabe
Elektronische Ressource
Umfang1 Online-Ressource (154 Seiten) : Illustrationen, Diagramme
HochschulschriftRWTH Aachen University, Dissertation, 2018
Anmerkung
Englische und deutsche Zusammenfassung
SerieSchriften des Forschungszentrums Jülich ; Band/volume 462
URLVolltext ; Volltext ; Volltext
ISBN978-3-95806-402-7
URNurn:nbn:de:hbz:5:2-197312 
Zugänglichkeit
 Das Dokument ist öffentlich zugänglich im Rahmen des deutschen Urheberrechts.
Volltexte
Entwicklung von großflächigen PECVD-Prozessen zur kontrollierten, homogenen Abscheidung dünner Siliziumschichten für die Photovoltaik [169.54 mb]
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