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vom 23.8.2023
Das Dokument ist öffentlich zugänglich im Rahmen des deutschen Urheberrechts.
HAXPES study of interface and bulk chemistry of ferroelectric HfO2 capacitors
Szyjka, Thomas
Elektronische Ressource, Jülich : Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibliothek, Verlag, [2023]
[Online Ressource]