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Das Dokument ist öffentlich zugänglich im Rahmen des deutschen Urheberrechts.Betrachtung der Kristallinitätsentwicklung in mikrokristallinem Dünnschicht-Silizium mit in-situ Raman-Spektroskopie
Elektronische Ressource, Jülich : Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibliothek, Verlag, 2018, copyright 2018[Online Ressource]